平面平晶（干涉平晶）

一．產品介紹：

SYPT-1平面平晶(干涉平晶)是用于以干涉法測量塊規，以及檢驗塊規、量規、零件密封面測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的工具。適用于光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封面現場檢測使用，也適用于高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。

二．符合標準：JJG28-2000平晶檢定規程

三．SYPT-1平面平晶(干涉平晶)工作原理：

平晶是利用光波干涉現象測量平行度誤差的，故其測量方法稱為平晶干涉法（圖2）,也稱技術光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ，以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下，則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲，則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)

λ為光波波長，白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距。

四．技術指標：

1. 平晶精度：1級

2. 平行度誤差：Ⅰ級 0.6μm

3. 平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm
直徑 300mm~600mm 0.08μm

4. 平面平晶的材料：光學K9玻璃，* ，檢驗標準 （GB 903-1987 無色光學玻璃）

5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度≤80 % RH的檢定室內進行等溫，等溫時間不少于8h

五．產品規格：

可以定做正方形、長方形、環形平面平晶，可以定做二等平面平晶，標準樣板?？梢詭С鰣蟾?，可以定做材質為石英平面平晶。